[发明专利]一种基于强电场电离放电技术合成电子级乙硅烷的方法在审
申请号: | 202310702741.3 | 申请日: | 2023-06-14 |
公开(公告)号: | CN116924411A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 陈润泽;徐海云;李欣;鲁毅;孙加其;吝秀锋;王艳;李国伟 | 申请(专利权)人: | 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/04 | 分类号: | C01B33/04 |
代理公司: | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人: | 张晓佩 |
地址: | 057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种基于强电场电离放电技术合成电子级乙硅烷的方法,本发明以甲硅烷为初始原料,采用强电场电离放电技术制备乙硅烷,硅烷和乙硅烷混合气随后经过初步分离,硅烷返回系统继续使用,乙硅烷经过两步精制后得到电子级乙硅烷。本发明以甲硅烷为原始原料,以强电场电离放电技术为合成工艺,原料价格低廉,反应收率高,节能环保;同时使用两步法对产物进行精馏,提纯深度高、提纯效率高,适合大规模生产,对于降低生产乙硅烷成本,打破国外企业垄断有重要的意。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 电场 电离 放电 技术 合成 电子 硅烷 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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