[发明专利]一种基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶及其制备和图案化方法在审
| 申请号： | 202310709968.0 | 申请日： | 2023-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN116719209A | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 沈小明;匡翠方;马致远;付欢;马鹏程;王宵冰;刘锡;汤孟博;庞茂璋;赖慧颖;钱全立 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/037 | 分类号： | G03F7/037;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 俞慧 |
| 地址： | 311121 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶及其图案化方法。所述基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶含有100份的马来酰亚胺化合物、10‑30份的丙烯酸多环戊烯基酯和20‑50份的高折射率芴系活性交联剂。本发明的基于马来酰亚胺的自引发双光子光刻胶避免了常规双光子引发剂的使用，从而可以避免普通光刻胶中残留的光引发剂及光解碎片存在着迁移渗透和进一步光化学反应的可能；丙烯酸多环戊烯基酯的阻氧效应可以保证光刻胶在空气中正常使用；而高折射率芴系活性交联剂则可以有效调节光刻胶的折射率以提升刻写效果。该光刻胶经飞秒激光刻写、显影后，能够得到特征尺寸在百纳米级的二维线条，也能够刻写出数百微米的三维结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 马来 亚胺 引发 光子 光刻 及其 制备 图案 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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