[发明专利]一种背照式面阵探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种背照式面阵探测器及其制备方法，以解决探测器无法实现器件整体的单片集成问题。具体包括背照式SiPM阵列和信号读出单元；信号读出单元包括设置在SiPM阵列正面的第一绝缘介质层及平行设置在第一绝缘介质层上的K层第一电极阵列和M层第二电极阵列；K层第一电极阵列和M层第二电极阵列相互间隔设置；第一绝缘介质层与第一电极阵列相邻；K≥1且为正整数，M＝K，或者，M＝K‑1且M≠0；第一电极阵列与第二电极阵列之间设有第二绝缘介质层；第一电极阵列为((N×N)－1)/2个正方形电极构成的N行×N列矩阵，N1且为奇数；第二电极阵列为((N×N)－1/2)+1个等边菱形电极构成的N行×N列矩阵；第二电极阵列中的顶角电极为信号读出电极。