[发明专利]一种基于液态镓的冷冻离心纳米压印方法在审
| 申请号： | 202310743150.0 | 申请日： | 2023-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN116954019A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 范闻;聂修宇;陈越;徐祖顺 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于液态镓的冷冻离心纳米压印方法，包括：制备表面具有微纳米级凹凸结构图案的压印模板；将液态金属镓加入容器中，再将压印模板有凹凸结构的一面覆盖在液态镓的表面；将容器放置于离心机中，使液态镓在低温条件下离心并凝固；离心后揭掉镓表面的压印模板，得到表面压印出微纳米凹凸结构的固态镓。本发明克服了液态金属镓因表面张力大而在常规重力条件下难以制备出纳米级结构的不足，从而可在镓表面压印出各种形貌精细可控的高分辨率微纳米结构。此外，本发明工艺简便、成本低，适合大面积和批量化的微纳米结构压印制造，有望在半导体和芯片制造、光刻替代、柔性电子以及可穿戴设备等领域具有很好的研究和应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 液态 冷冻 离心 纳米 压印 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北大学，未经湖北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310743150.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种振谐点确认方法及破冰装置
- 下一篇：一种油田压裂施工的示踪剂及其制备方法
