[发明专利]电子束参数的确定方法及装置

摘要

本申请提供一种电子束参数的确定方法及装置，涉及半导体技术领域，该方法包括：在版图数据对应的实际掩膜版图中进行测量，以得到量测数据，量测数据包括测量点的量测尺寸；基于点扩散函数形式，构建电子束模型；基于电子束模型，对版图数据进行仿真处理，以确定测量点对应的仿真尺寸；基于所述量测尺寸、所述仿真尺寸及代价函数，确定代价值；判断所述代价值是否满足预设条件；在所述代价值不满足预设条件的情况下，基于所述代价值，调整所述电子束模型当前的参数值，并返回执行所述基于所述电子束模型，对所述版图数据进行仿真处理，以确定所述测量点对应的仿真尺寸的步骤，直至得到电子束模型的目标参数值，从而提高了电子束模型的精度。