[发明专利]一种全自动晶圆激光打标装置和方法在审
| 申请号： | 202310756954.4 | 申请日： | 2023-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN116810160A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 江建新 | 申请（专利权）人： | 武汉凌云光电科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 俞鸿;高炳龙 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种全自动晶圆激光打标装置和方法，包括上下料工站、CCD识别系统、搬运系统、晶圆载台、激光打标系统；还包括CCD定位系统和调整机构，P轴直线模组上设置中空旋转平台，中空旋转平台1个晶圆载台，中空旋转平台动子部绕其旋转中心转动时，可带动晶圆载台及晶圆一起绕旋转中心转动。所述三组CCD图像采集器围绕中空旋转平台动子部旋转中心圆周均布，固定不动，用于采集晶圆外轮廓(或边缘)的数据信息。本发明不仅结构简单、经济实用、自动化程度高，而且可以通过CCD视觉识别的方式先调整晶圆直边的位置至正确位置然后再计算晶圆圆心的位置，最后基于晶圆圆心的位置控制振镜自动调整激光光束，实现对晶圆的准确打标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 激光 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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