[发明专利]化学气相沉积设备的抽气控制方法、装置、介质及设备

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积设备的抽气控制方法、装置、介质及设备，该化学气相沉积设备的抽气控制方法包括：当化学气相沉积工艺进入抽气阶段时，控制化学气相沉积设备的节流阀开启预设开度；控制抽气泵抽取化学气相沉积设备的反应腔室内的气体；每达到预设条件时，控制增大节流阀的开度，直至节流阀完全开启。本发明解决了气相沉积工艺在抽气阶段易在晶圆表面附着颗粒物，导致晶圆缺陷，降低晶圆良率的问题。