[发明专利]一种过滤排气集成系统及其控制系统在审
| 申请号： | 202310761464.3 | 申请日： | 2023-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN116785857A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 西北核技术研究所 |
| 主分类号： | B01D46/62 | 分类号： | B01D46/62;B01D46/30;B01D46/44;G01D21/02 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 张景云 |
| 地址： | 710613 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种过滤排气集成系统，包括依次连通的进气单元、过滤单元、排气单元、储气单元，所述排气单元包括气体模组、质谱检测模块、真空泵组，所述进气单元依次通过质谱检测模块、气体模组与储气单元相连，所述气体模组包括相互连通的流量控制模块、气体取样模块，所述流量控制模块分别通过阀组模块与气体取样模块和真空泵组相连。本发明中，通过多个带有多个切换通道的控制阀的设置，使得多个切换通道集成在控制阀的阀杆内，减少了原先设置的多个控制阀门及连接管路的占用空间，可根据阀组间阀位逻辑实现不同切换通道的组合，减小了气体模组的安装尺寸，节省了安装空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 过滤 排气 集成 系统 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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