[发明专利]基于亚波长光栅的非易失波导移相器在审
申请号: | 202310765930.5 | 申请日: | 2023-06-27 |
公开(公告)号: | CN116931299A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 周林杰;刘世昌;杨星;陆梁军;李雨;陈建平 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G02F1/035 | 分类号: | G02F1/035;G02F1/03;G02F1/01;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/124;G02B6/14 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 200240 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种基于亚波长光栅的非易失波导移相器,包括基层,以及固定在该基层上的异质集成波导结构和硅波导模斑转换结构,异质集成波导结构的两端对称连接所述的硅波导模斑转换结构。本发明具有结构紧凑、插入损耗低、驱动电压小、相变功耗低、相位调节非易失等优点,通过将相变材料分块形成亚波长光栅结构获得更高的可重构次数,可以作为集成光电子芯片中的核心光路调控器件。 | ||
搜索关键词: | 基于 波长 光栅 非易失 波导 移相器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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