[发明专利]基于亚波长光栅的非易失波导移相器在审

专利信息
申请号: 202310765930.5 申请日: 2023-06-27
公开(公告)号: CN116931299A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 周林杰;刘世昌;杨星;陆梁军;李雨;陈建平 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G02F1/035 分类号: G02F1/035;G02F1/03;G02F1/01;G02B6/12;G02B6/122;G02B6/124;G02B6/14
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种基于亚波长光栅的非易失波导移相器,包括基层,以及固定在该基层上的异质集成波导结构和硅波导模斑转换结构,异质集成波导结构的两端对称连接所述的硅波导模斑转换结构。本发明具有结构紧凑、插入损耗低、驱动电压小、相变功耗低、相位调节非易失等优点,通过将相变材料分块形成亚波长光栅结构获得更高的可重构次数,可以作为集成光电子芯片中的核心光路调控器件。
搜索关键词: 基于 波长 光栅 非易失 波导 移相器
【主权项】:
暂无信息
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