[发明专利]一种用于晶圆质子辐照用的新型装置及抽真空方法在审
| 申请号： | 202310769949.7 | 申请日： | 2023-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN116936325A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 桂正亚;沈轩宇;李非易;周晓慧;刘辉;朱晓桦 | 申请（专利权）人： | 国电投核力创芯(无锡)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/268;H01L21/67 |
| 代理公司： | 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 | 代理人： | 陈勤 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区安*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆质子辐照用的新型装置及抽真空方法，装置包括：辐照舱；还包括：冷泵管道，与所述辐照舱连通；低温泵，设置在所述冷泵管道端部；插板阀，设置在冷泵管道上，用于隔断低温泵与辐照舱的连通。所述插板阀外接远程控制系统，通过远程控制系统完成对插板阀的远程启闭工作。本发明在低温泵和辐照舱连接的冷泵管道上增加一个插板阀，当涉及到辐照舱需要开舱，则通过远程控制系统，输出信号给到插板阀，插板阀将低温泵和辐照舱分隔，辐照舱破真空的行为不影响低温泵的运行，管道内继续保持低压；在辐照舱内工作完成后，则可使用机械泵短时间内将真空抽到10‑2mBar，此时远程开启插板阀，低温泵照常运行，大大缩短冷泵开启的前端工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 质子 辐照 新型 装置 真空 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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