[发明专利]激光跟踪仪标定装置及方法在审
| 申请号： | 202310774142.2 | 申请日： | 2023-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN116774244A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 周培松;张刘港;许燚赟 | 申请（专利权）人： | 海宁集成电路与先进制造研究院 |
| 主分类号： | G01S17/42 | 分类号： | G01S17/42;G01S7/481 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 徐雅琴 |
| 地址： | 314499 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供一种激光跟踪仪标定装置及方法，包括：沿第一方向滑动连接的第一安装台和第二安装台，第一安装台和第二安装台沿第一方向滑动连接；第一安装台上沿所述第一方向依次设有激光跟踪仪、干涉仪、第一安装架和第二安装架，第一安装架和第二安装架均与第一安装台沿第二方向滑动连接，第一方向和第二方向为相互垂直的水平方向，第一安装架安装有靶镜和干涉镜，第二安装架转动安装有反光镜；第二安装台上设有第三安装架，第三安装架与第二安装台沿第二方向滑动连接，第三安装架安装有五棱镜。本申请提供的激光跟踪仪标定装置及方法，结构简单，操作简便，可以快速调节光路长度和反光位置，实现对激光跟踪仪的不同标定工作需求，准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 跟踪 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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