[发明专利]声表面波滤波器及组、多工器及射频模组在审

专利信息
申请号: 202310780494.9 申请日: 2023-06-29
公开(公告)号: CN116722838A 公开(公告)日: 2023-09-08
发明(设计)人: 王阳;吴洋洋;曹庭松;陆彬 申请(专利权)人: 北京超材信息科技有限公司
主分类号: H03H9/64 分类号: H03H9/64;H03H9/72
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 孙宝海
地址: 102600 北京市大*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本申请提供一种声表面波滤波器、滤波器组、多工器以及射频模组,其中声表面波滤波器包括:基板、晶圆、谐振器、晶圆焊盘、凸块以及密封件。基板顶面具有基板焊盘;晶圆包括支撑基板和压电薄膜,压电薄膜直接或间接设置在支撑基板上,晶圆具有第一表面、第二表面、以及垂直于第一表面并连接第一表面和第二表面的侧壁;晶圆的侧壁与第一表面之间具有凹轮廓,在沿着从第二表面向第一表面的方向上,凹轮廓与晶圆中心之间的距离逐渐减小;晶圆的第一表面有谐振器和晶圆焊盘,凸块将基板焊盘与晶圆焊盘一一对应电连接;密封件包覆晶圆并连接于基板,使得晶圆、晶圆焊盘、凸块、基板焊盘以及基板围成空腔结构。该声表面波滤波器灵敏度高、可靠性好。
搜索关键词: 表面波 滤波器 多工器 射频 模组
【主权项】:
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