[发明专利]声表面波滤波器及组、多工器及射频模组在审
申请号: | 202310780494.9 | 申请日: | 2023-06-29 |
公开(公告)号: | CN116722838A | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
发明(设计)人: | 王阳;吴洋洋;曹庭松;陆彬 | 申请(专利权)人: | 北京超材信息科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/64 | 分类号: | H03H9/64;H03H9/72 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 孙宝海 |
地址: | 102600 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请提供一种声表面波滤波器、滤波器组、多工器以及射频模组,其中声表面波滤波器包括:基板、晶圆、谐振器、晶圆焊盘、凸块以及密封件。基板顶面具有基板焊盘;晶圆包括支撑基板和压电薄膜,压电薄膜直接或间接设置在支撑基板上,晶圆具有第一表面、第二表面、以及垂直于第一表面并连接第一表面和第二表面的侧壁;晶圆的侧壁与第一表面之间具有凹轮廓,在沿着从第二表面向第一表面的方向上,凹轮廓与晶圆中心之间的距离逐渐减小;晶圆的第一表面有谐振器和晶圆焊盘,凸块将基板焊盘与晶圆焊盘一一对应电连接;密封件包覆晶圆并连接于基板,使得晶圆、晶圆焊盘、凸块、基板焊盘以及基板围成空腔结构。该声表面波滤波器灵敏度高、可靠性好。 | ||
搜索关键词: | 表面波 滤波器 多工器 射频 模组 | ||
【主权项】:
暂无信息
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