[发明专利]一种高匀光性光束整形器的制备方法在审
申请号: | 202310792121.3 | 申请日: | 2023-06-30 |
公开(公告)号: | CN116755289A | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 范盛鑫;范长江;洪钦洋;兰博望;林新煜;毛尔杰;吴琼 | 申请(专利权)人: | 浙江师范大学 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/20;G02B27/09 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 321000 浙江省金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了一种高匀光性光束整形器的制备方法,技术核心在于光束整形器的设计和制作。设计的全息图的灰度按照圆形或正多边形的几何图形进行填充,几何图形的尺寸和位置排布按照设计的方式调控,灰度数值大小由灰阶与灰度最大值决定。设计好的全息图利用全息缩微输出系统打印在光刻胶板上,光刻胶板经过曝光显影后,在光刻胶表面留下凹坑系统。全息图设计方案和曝光显影时间决定了凹坑系统的结构与排布,此种方法制备出的光束整形器对透射光束的整形能力好,光强分布均匀性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 高匀光性 光束 整形 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江师范大学,未经浙江师范大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310792121.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。