[发明专利]一种高匀光性光束整形器的制备方法在审

专利信息
申请号: 202310792121.3 申请日: 2023-06-30
公开(公告)号: CN116755289A 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 范盛鑫;范长江;洪钦洋;兰博望;林新煜;毛尔杰;吴琼 申请(专利权)人: 浙江师范大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G03F7/20;G02B27/09
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 321000 浙江省金*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种高匀光性光束整形器的制备方法,技术核心在于光束整形器的设计和制作。设计的全息图的灰度按照圆形或正多边形的几何图形进行填充,几何图形的尺寸和位置排布按照设计的方式调控,灰度数值大小由灰阶与灰度最大值决定。设计好的全息图利用全息缩微输出系统打印在光刻胶板上,光刻胶板经过曝光显影后,在光刻胶表面留下凹坑系统。全息图设计方案和曝光显影时间决定了凹坑系统的结构与排布,此种方法制备出的光束整形器对透射光束的整形能力好,光强分布均匀性高。
搜索关键词: 一种 高匀光性 光束 整形 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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