[发明专利]一种激光直写样品的固定装置及工作方法有效
| 申请号： | 202310797264.3 | 申请日： | 2023-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN116540503B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孙秋媛;匡翠方;孙琦;马程鹏;张杨燕 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 陈天宝 |
| 地址： | 311121 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光直写样品的固定装置及工作方法，固定装置包括样品台框架，还包括能够可拆卸地设于所述样品台框架上的适配常规刻写模式的第一固定组件，或适配大尺寸浸入式刻写模式的第二固定组件，或适配光纤端面刻写模式的第三固定组件；第一固定组件为边沿限位式定位槽结构；第二固定组件为三层叠套筒式定位槽结构，以此实现晶圆的定位及光刻胶装载；第三固定组件为双板夹角式定位槽结构，以此实现光纤夹持定位。与现有技术相比，本发明提供了一种结构简单，普适性高，易于操作的一种激光直写样品的固定装置及其工作方法，以实现不同形状、尺寸激光直写样品的固定和定位，适配多种加工场景，可广泛应用于激光直写光刻领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 样品 固定 装置 工作 方法 | ||
【主权项】：
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