[发明专利]一种制备三氯氢硅的装置及方法在审

专利信息
申请号: 202310802961.3 申请日: 2023-07-03
公开(公告)号: CN116920741A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 齐元红;赵鹏;相文强;李新婷;关鹏羽;刘建海;王伟;刘兴平 申请(专利权)人: 新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司
主分类号: B01J19/00 分类号: B01J19/00;C01B33/107
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 胡影
地址: 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** 国省代码: 新疆;65
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种制备三氯氢硅的装置及方法,所述装置包括:三氯氢硅合成系统、干法除尘系统、湿法除尘系统、脱重提纯系统和渣浆处理系统;所述三氯氢硅合成系统包括三氯氢硅反应器;所述干法除尘系统中包括旋风分离器;所述湿法除尘系统中包括淋洗塔、再沸器、换热器和第一冷凝器;所述脱重提纯系统中包括脱重塔和碳吸附塔。本发明的装置结合了整个多晶硅行业的气力输送硅粉方式,将利用换热器冷凝混合气作为淋洗的液相的节能技术、三氯氢硅和四氯氢硅组分双向采出的节能手段、渣浆浓缩回收的技术相结合,达到整个系统的有效资源整合,充分地实现低能耗、循环再利用的技术效果,打造出一套可以自行运行,自我补偿的高纯三氯氢硅生产系统。
搜索关键词: 一种 制备 三氯氢硅 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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