[发明专利]一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法在审
申请号: | 202310812491.9 | 申请日: | 2023-07-04 |
公开(公告)号: | CN116858897A | 公开(公告)日: | 2023-10-10 |
发明(设计)人: | 周清峰;梁健汉;万竹桉;宋志龙 | 申请(专利权)人: | 艾感科技(广东)有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;B25J11/00;C23C16/455;C23C16/04;C23C16/40;C23C16/06;C23C14/34;C23C14/04;C23C14/08;C23C28/00 |
代理公司: | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人: | 何志欣 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种嗅觉气味阵列传感器及其制备方法。嗅觉气味阵列传感器至少包括:具有通孔阵列的基板;设置在通孔内壁通过与测定对象反应而使电阻变化的传感膜;向传感膜施加电压的电极;调节电极与传感膜之间载流子传输的调制层。电极包括沿基板厚度方向设置在基板顶部的若干第一电极和设置在基板底部的若干第二电极。第一电极和第二电极在基板厚度方向上的投影的重叠区域覆盖若干传感膜以形成用于传感的像素。在嗅觉气味阵列传感器检测气体的情况下,第一电极和第二电极构成的网格可以传输反映各个像素的传感膜与气体发生反应后电阻变化情况的电流。 | ||
搜索关键词: | 一种 嗅觉 气味 阵列 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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