[发明专利]一种薄膜太阳能电池用合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202310813301.5 | 申请日： | 2023-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN116855901A | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 储茂友;张恒;白雪;刘宇阳;韩沧;杨秀玉 | 申请（专利权）人： | 有研资源环境技术研究院（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/14;B22F3/10;B22F5/00;H01L31/0445;H01L31/18;H01L31/032 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苟冬梅 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种薄膜太阳能电池用合金靶材及其制备方法，制备方法包括：钼酸钠粉体或钼酸钾粉体在300‑400℃下进行煅烧预处理，获得预处理粉体；将高纯Mo粉体与预处理粉体混合均匀后，装入石墨模具中进行冷压，获得成型坯体；成型坯体在真空热压炉内进行两阶段真空热压烧结并随炉冷却，得到烧结坯体；将烧结坯体进行无水外形加工，再置于真空炉内，在400～700℃下进行真空退火处理，以及表面精磨加工，获得合金靶材。本发明通过上述制备步骤获得具有组织均匀性好、密度高、碱金属Na或K含量均匀稳定的薄膜太阳能电池用高品质MoNa(K)合金靶材，该材料可直接用于磁控溅射镀膜制备MoNa(K)膜层，其中Na(K)将向光电转换CIGS膜层中扩散渗透，以提高电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 太阳能电池 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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