[发明专利]离子敏感薄膜晶体管及生物传感芯片在审
| 申请号： | 202310821343.3 | 申请日： | 2023-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN116936640A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 唐伟;郭小军 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;G01N27/414 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 禹雪平 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种离子敏感薄膜晶体管及生物传感芯片，晶体管由下而上依次包括：衬底；第一栅电极；第一栅绝缘层；半导体层；第二栅绝缘层；源漏极，第二栅电极；第二栅极接触电极；第一栅电极、第一栅绝缘层、源漏电极和半导体层构成底栅晶体管，作为开关器件；源漏电极、半导体层、第二栅绝缘层、第二栅电极和第二栅极接触电极构成顶栅晶体管，作为离子敏感元件，第二栅绝缘层采用刻蚀阻挡层；顶栅晶体管和底栅晶体管构成双栅结构的离子敏感薄膜晶体管。本发明能够提高顶栅/底栅电容耦合比，显著提高离子敏感场效应晶体管对离子响应的灵敏度，实现对低浓度目标核酸序列的快速分析。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 敏感 薄膜晶体管 生物 传感 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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