[发明专利]一种气体吸附仪在审

专利信息
申请号: 202310831419.0 申请日: 2023-07-07
公开(公告)号: CN116929983A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 陈琦然;涂敏;李昕欣;许鹏程 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: G01N5/02 分类号: G01N5/02;G01M7/02
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 黄盼
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本申请公开了一种气体吸附仪,所述气体吸附仪包括:气体输送装置、测试腔、悬臂梁以及频率获取装置;气体输送装置与测试腔连通设置,用于向测试腔内输送目标气体;悬臂梁设置在测试腔内,悬臂梁能够在测试腔内振动;悬臂梁上设置有待测材料,待测材料能够与悬臂梁同步振动;频率获取装置,用于获取悬臂梁的振动频率;其中,悬臂梁的振动频率与待测材料对目标气体的吸附量关联;本申请通过将悬臂梁设置在测试腔内,并将待测材料设置在悬臂梁上,进一步可以通过对附加有待测材料的悬臂梁的振动频率的测试,快速的计算出待测材料对目标气体的吸附量,提高测试效率,且还可以实时检测到待测材料对目标气体的吸附变化量,提高测试的灵敏度。
搜索关键词: 一种 气体 吸附
【主权项】:
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