[发明专利]清洗毛刷电磁感应无接触传动晶圆清洗装置

摘要

本发明公开了清洗毛刷电磁感应无接触传动晶圆清洗装置，包括清洗池，所述清洗池上部设置有清洁组件，所述清洗池内侧下部设置有驱动晶圆转动的驱动组件，所述清洗池下部设置有用于实现清洗液循环的循环组件，所述清洁组件包括支撑框，所述支撑框两端均设置有槽组，所述槽组包括两个呈V字形分布的挂放槽，所述支撑框内侧转动设置有两个平行设置的清洁刷辊，所述清洁刷辊内侧同轴固定设置有支撑轴，所述支撑轴的两端均套设有轴承。本发明可以驱动晶圆旋转，并结合设置的清洁刷辊，可以对晶圆表面进行清理，从而可以对晶圆表面进行更加彻底的清理，减少清理死角，丰富清洁形式。