[发明专利]一种包含合金界面的三维原子探针样品及其制备方法在审
| 申请号： | 202310842156.3 | 申请日： | 2023-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN116879583A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 杨妮;朱晨;苏岳锋;王联;李亚丽;刘兴兴 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学重庆创新中心 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20;G01Q60/38;G01N1/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 蒋易 |
| 地址： | 401120 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及微纳尺度材料样品制备技术领域，具体涉及一种包含合金界面的三维原子探针样品及其制备方法。本发明方法通过在基体表面的感兴趣区域表面沿合金界面的延展方向沉积定位块，然后再在该基体上截取类柱状样品并使得该定位块位于该类柱状样品的其中一个侧壁上，此时，再通过将上述类柱状样品固定于样品台的载样面上，在后续进行离子束环切刻蚀的过程中，则利用上述定位块材料与基体材料不同从而易于在离子束环切刻蚀过程中提供良好的质厚衬度这一优势，可有效解决了在合金界面处衬度较弱不易在电镜下进行观察导致的制样失败的缺陷，极大地提高制样的成功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 合金 界面 三维 原子 探针 样品 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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