[发明专利]具有内嵌沟道二极管的平面分离栅SiC MOSFET在审
申请号: | 202310843891.6 | 申请日: | 2023-07-11 |
公开(公告)号: | CN116936638A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 赵琳娜;顾晓峰;鹿存莉;季颖 | 申请(专利权)人: | 江南大学 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336;H01L27/07 |
代理公司: | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人: | 吕永芳 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种具有内嵌沟道二极管的平面分离栅SiC MOSFET,属于半导体技术领域。该SiC MOSFET结构为分离栅极结构,在平面器件结构的基础上,内嵌了源极多晶硅结构,并与源极金属直接接触。通过在传统平面结构的基础上内嵌的源极多晶硅,使得器件的JFET区域变短,器件导通电阻增大。故为了降低器件的导通电阻,在栅极下方的JFET区域的浓度调大,宽度调大。正向导通时,相比于传统器件的两个导电沟道,本结构具有四个导电沟道。续流二极管的反向导通电压小于体二极管的反向导通电压,避免了体二极管的开启,降低了系统损耗。同时,避免了传统器件存在的双极退化效应,提高了器件的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 具有 沟道 二极管 平面 分离 sic mosfet | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江南大学,未经江南大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202310843891.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类