[发明专利]一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器在审
申请号: | 202310844535.6 | 申请日: | 2023-07-10 |
公开(公告)号: | CN116800222A | 公开(公告)日: | 2023-09-22 |
发明(设计)人: | 高安明;路晓明;姜伟 | 申请(专利权)人: | 浙江星曜半导体有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/02;H03H9/64;H03H3/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 林哲生 |
地址: | 325038 浙江省温州市浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器,将其电极结构改进为在垂直于压电衬底所在平面的方向上多层堆叠设置的多层电极结构,通过多层电极结构带来的质量加载效应降低声速,从而可以实现更小型化的声表面波谐振器设计,即这一新型的声表面波谐振器的电极指条的长度可以设计的更短,数量可以设置的更少,从而满足更小的尺寸要求,并为模组等集成产品的设计提供更大的设计自由度。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面波 谐振器 及其 制备 方法 滤波器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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