[发明专利]半导体设备的监测方法及设备维保管理系统

摘要

本公开提供了一种半导体设备的监测方法及设备维保管理系统，监测方法包括：获取目标设备的多个历史在制品信息，以及记录每个历史在制品信息的历史时刻对应的历史设备性能信息和历史维保信息。基于多个历史在制品信息、多个历史设备性能信息和多个历史维保信息，获得预测模型。将当前在制品信息和当前设备性能信息输入预测模型，得到目标设备的预测维保信息。通过本公开提供的监测方法对半导体设备的维保时间进行监测，预测维保信息可以匹配目标设备的待加工在制品的数量，从而提升目标设备的制程稳定性和设备维保管理系统的可靠性，并便于设备维保管理系统可以基于多个目标设备的预测维保信息进行资源调度，有利于提高半导体设备的有效利用率。