[发明专利]一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片在审
| 申请号： | 202310857942.0 | 申请日： | 2023-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN116910782A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 房旷;杨鹏;徐尚龙;戴亚龙 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学长三角研究院（湖州） |
| 主分类号： | G06F21/60 | 分类号： | G06F21/60;B81B7/02;G06F21/76;G06F21/87 |
| 代理公司： | 成都正煜知识产权代理事务所(普通合伙) 51312 | 代理人： | 李龙 |
| 地址： | 313001 浙江省湖州市西塞*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及安保芯片领域，提供了一种集成位置监测系统的旋转式MEMS加密微安保芯片。主旨在于实现对长期服役的芯片对微摩擦引起的衰退进行监测与自适应补偿，缓解因摩擦对器件的性能产生负面影响的问题。主要方案包括盖板层和安保装置层,盖板层的圆形观察窗与安保装置层的中断圆盘位于芯片的中央。传感器模块由中断圆盘组成的安保隔断作为容栅式位移传感器的动栅，一对静栅呈180°中心对称与安保装置层的电热执行器分布在中断圆盘四周；驱动单元和离合单元所构成的执行器模块与传感器模块形成了闭环控制，根据传感器监测到信号输出，实现微小驱动位移的在线健康状态感知，并据此反馈到执行器模块，对驱动信号进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 位置 监测 系统 旋转 mems 加密 微安 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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