[发明专利]一种用于平行反射面间角度误差的测量装置在审
| 申请号： | 202310858080.3 | 申请日： | 2023-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN116929250A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王少鑫;齐克奇;刘河山;罗子人 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/27;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 席卷 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于平行反射面间角度误差的测量装置，包括：光源提供单元，用于提供出射激光；激光分束调制单元，用于将出射激光分束，并对分束后的出射激光的频率差进行调制；激光干涉单元，用于将调制后的出射激光引导到达一组反射面相平行的待测件上，并返回形成与所述待测件一一对应的两套干涉信号；数据采集处理单元，用于采集所述干涉信号，并根据采集的干涉信号得到一组所述待测件的反射面上的角度误差信息。本发明以外差干涉技术为基础，构建了具有高精度测量能力，对反射平面的测量精度水平能够达到亚微弧度水平，可以有效地适用于标定平行反射面的平行度以及校准平行反射面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 平行 反射 角度 误差 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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