[发明专利]光芯片测试装置及光芯片发散角的测量方法在审
申请号: | 202310859038.3 | 申请日: | 2023-07-13 |
公开(公告)号: | CN116698372A | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 黄忠志;杨强;罗骏 | 申请(专利权)人: | 镭神技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黄鸿华 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明区玉塘街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请涉及光芯片测试装置及光芯片发散角的测量方法,检测平台将待检测光芯片输送到目标加电位置;定位检测相机定位待检测光芯片的准确位置;加电探针结构使加电探针导电接触待检测光芯片的加电部位;第一远场扫描摆臂具有于第一预设角度范围之内绕第一转动轴向往复转动的状态,感应获得待检测光芯片的光测量数据,确定待检测光芯片的第一方向发散角。适用于光芯片的发散角测量,通过定位检测相机配合实现加电探针的精准定位,保证了测量发散角的准确性,可在测量时保护待检测光芯片,避免因发散角测量而造成二次损伤,有利于保证光芯片的无损检测,配合控制方式还可实现光芯片产品发散角的全自动或者半自动测量。 | ||
搜索关键词: | 芯片 测试 装置 发散 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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