[发明专利]一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法在审
| 申请号： | 202310866482.8 | 申请日： | 2023-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN116930234A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 陈奕文;李钰环;罗迷;刘建党;张宏俊;叶邦角 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01T1/203;G01T1/208;G01T1/24 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所(普通合伙企业) 34114 | 代理人： | 陆娟 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及用于正电子湮没多普勒展宽测量的多普勒谱仪的技术领域，具体为一种用于微米级薄膜测试的数字化正电子湮没多普勒展宽谱仪及其测试方法。包括高纯锗探测器、放大器、反符合模块和数据采集处理模块，高纯锗探测器用于接收正负电子湮没产生的湮没光子并沉积能量；放大器对负指数核脉冲信号进行放大和高斯成型处理，得到高斯脉冲信号；高速数字示波器的一路采集反符合脉冲信号，另一路采集放大器的高斯脉冲信号；计算机得到高速数字示波器的双通道信号进行反符合逻辑判断，得到多普勒展宽谱并计算其S‑W参数，获得薄膜样品内缺陷信息。本发明采用反符合模块对湮没光子位置进行判断，实现了用于微米级薄膜测试的数字化反符合多普勒谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微米 薄膜 测试 数字化 正电子 湮没 多普勒 展宽 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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