[发明专利]一种SF6

摘要

本发明公开一种SF6/N2混合气体的检测装置及检测方法，其检测装置包括：检测单元，其连接有进气管和出气管；检测单元包括湿度检测模块、纯度检测模块以及分解产物检测模块；湿度检测模块用于检测SF6/N2混合气体的湿度；纯度检测模块用于检测SF6/N2混合气体的纯度；以及分解产物检测模块用于检测SF6/N2混合气体的分解物，且分解物包括SO2、H2S、CO、NO2、NF3；据处理单元，与湿度检测模块、纯度检测模块以及分解产物检测模块电性连接，其用于获取检测单元的检测数据；以及显示单元，其用于可视化展示检测数据。本发明可以有效改善现有SF6/N2混合气体在检测过程中，其检测效果单一且难以实现对于特征组分NF3的检测，以及检测完成后的气体回收效果不佳的问题。