[发明专利]一种压力控制的快速响应方法及装置在审
| 申请号： | 202310877083.1 | 申请日： | 2023-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN116931610A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 吴涛;吴路路;姚涛 | 申请（专利权）人： | 中导半导体（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20;F16K31/04;F16K51/02 |
| 代理公司： | 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 | 代理人： | 方荣肖 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市巢湖市旗麓路*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种压力控制的快速响应方法及装置。所述快速响应方法包括：根据真空反应腔体内的目标压力，通过一个对应关系表获取相应的预设编码值；根据预设编码值，控制电机驱动阀板在相应的预设位置上；当阀板在相应的预设位置上时，采集真空反应腔体内的压力作为当前压力；根据当前压力与目标压力的压力差值得到相应的编码差值，由此控制电机驱动调整阀板的相应位置。本发明通过控制器先加载变化后压力对应的位置，在开环的情况下让阀板快速运动到预设位置；当阀板到预设位置后，读取当前压力，并与设定的工作压力做比较，形成压力环控制，保证压力控制精度，这样整个过程就省去了前面大部分行程的压力调节时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 控制 快速 响应 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中导半导体（合肥）有限公司，未经中导半导体（合肥）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310877083.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
