[发明专利]太阳电池及其制备方法、镀膜装置及太阳电池生产系统

摘要

本发明提供了一种太阳电池及其制备方法、镀膜装置及太阳电池生产系统。所述太阳电池包括太阳电池前驱体以及第一透明导电薄膜。其中，所述第一透明导电薄膜设置于所述太阳电池前驱体上，所述第一透明导电薄膜包括依次层叠设置于所述太阳电池前驱体上的第一透明导电层、第一夹心薄膜以及第二透明导电层，所述第一透明导电层的材料包括氧化铟锡，所述第一夹心薄膜与所述第一透明导电层的材料不同，所述第二透明导电层的材料包括氧化铟锡。本发明能够减少铟的使用量。