[发明专利]一种多功能复合型扫描探头在审
申请号: | 202310885880.4 | 申请日: | 2023-07-18 |
公开(公告)号: | CN116931256A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 马冬林;赵浩宇;徐智谋;刘晓军 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学;深圳华中科技大学研究院 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G02B7/02;G01B11/24 |
代理公司: | 武汉派富知识产权代理事务所(普通合伙) 42305 | 代理人: | 刘艳丽 |
地址: | 430000 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及光学显微扫描领域,具体涉及多功能复合型扫描探头。本发明包含探头壳体、第一传输光纤、第二传输光纤、穿孔光纤固定组件、第一固定组件、第一透镜组、第二固定组件、第二透镜组,其中第一透镜组的所述第一数值孔径大于与所述第二透镜组的所述第二数值孔径,第一透镜组的光轴与第二透镜组的光轴存在固定夹角。该发明将大数值孔径的可见光探头和小数值孔径的多波长红外探头固定集成,平移或旋转透镜组时不需要二次标定,具有较高的工作效率和较强的系统稳定性。主要用于微结构和微纳光学元件测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多功能 复合型 扫描 探头 | ||
【主权项】:
暂无信息
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