[发明专利]用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器在审
| 申请号： | 202310886560.0 | 申请日： | 2023-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN116929247A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 孟梦;蒋泉权;刘国淦;钱俊 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G02B13/00 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆叶 |
| 地址： | 201292 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了用于高精度小口径大曲率半径凸非球面面形检测的补偿器，所述高精度小口径大曲率半径凸非球面为待测非球面；其特征在于，所述补偿器整体为旋转对称结构，补偿器内沿同一光轴依次排列三个单透镜组成透镜组，所述三个单透镜均为抛光球面，且沿光线入射方向依次为第一镜片、第二镜片和第三镜片；所述待测非球面沿光线入射方向设置于第三镜片后方；所述补偿器将干涉仪发出的平面波转换为与待测非球面相匹配的非球面波，从而实现对待测非球面的零位检测。本发明结构简单，易于加工，方便使用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高精度 小口径 曲率 半径 球面 检测 补偿 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海现代先进超精密制造中心有限公司，未经上海现代先进超精密制造中心有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310886560.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电动剪切工具的剪切开度控制方法
- 下一篇：一种针对石英辊棒的内孔加工设备
