[发明专利]一种使用机械式转移技术制备Mini LED阵列的方法在审
| 申请号： | 202310890204.6 | 申请日： | 2023-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN116936554A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李金雄;周志强 | 申请（专利权）人： | 深圳市鸿展光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/075 | 分类号： | H01L25/075;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳快马新生专利商标代理事务所(普通合伙) 44996 | 代理人： | 熊思智 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区福海街道和*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种使用机械式转移技术制备Mini LED阵列的方法，包括下列步骤：步骤1、制备芯片；步骤2、切割芯片，将步骤1得到的芯片进行切割，切割采用纵横切割方式，激光行走为纵横方向，切割得到目标尺寸的单个Mini LED芯片；步骤3、目标基板蚀刻，在目标基板上按照目标阵列N1X N2进行蚀刻，横向蚀刻N1条，纵向蚀刻N2条；步骤4、拿取芯片，采用机械臂一次性拿取数量为P的单个Mini LED芯片；步骤5、放置芯片，将拿取的P个单个Mini LED芯片放置于目标基板上被蚀刻隔断的矩形区域，采用对角放置，至完成制作Mini LED阵列；该方法在机械式转移单个Mini LED芯片制作Mini LED阵列时，采用矩阵对角式转移，减少视觉监测识别次数，有效的提高Mini LED阵列制作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 使用 机械式 转移 技术 制备 mini led 阵列 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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