[发明专利]基于分布式并行计算的FDC溯因分析方法及存储介质有效
| 申请号： | 202310893076.0 | 申请日： | 2023-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN116629707B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 龚雁鹏;谢箭;王涛 | 申请（专利权）人： | 合肥喆塔科技有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/0639 | 分类号： | G06Q10/0639;G06F18/25;G06F18/10;G06F18/21;G06F18/2433;G06F18/27;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 兴东知识产权代理有限公司 34148 | 代理人： | 苗娟 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一种基于分布式并行计算的FDC溯因分析方法及存储介质，方法包括获取失效器件的各种信息；获取半导体晶圆生产制造过程中的FDC数据及配置文件；对FDC数据集进行预处理，获取算法计算结构的数据；做溯因分析，找出影响因子；基于溯因分析结果进行汇总，取出各分组的前N个影响因子；基于测试结果与已知的失效模式进行比对，以确定可能的失效原因；根据反馈的多个可能的失效原因，进行进一步的测试和诊断操作，以验证和确定失效的根本原因；根据失效的根本原因，采取相应的措施。本发明通过对数据进行特征提取、异常检测和模式识别，能够快速准确地识别潜在的故障源和不良产品产生的原因。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 分布式 并行 计算 fdc 分析 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
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