[发明专利]半导体器件及其形成方法在审
申请号: | 202310898996.1 | 申请日: | 2023-07-20 |
公开(公告)号: | CN116685145A | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 李泽伦 | 申请(专利权)人: | 长鑫科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00;H01L29/10 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 高天华;胡春光 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开实施例提供一种半导体器件及其形成方法,其中,半导体器件包括:衬底:位于衬底中的第一晶体管;其中,第一晶体管至少包括U型的第一沟道、以及位于第一沟道表面的第一栅极;第一沟道的U型开口朝向第一方向、且背离衬底;第一方向为衬底的厚度方向;位于第一晶体管表面的U型开口内的第二晶体管;其中,第二晶体管至少包括第二漏极,第二漏极与第一栅极连接。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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