[发明专利]基于Ti种子层的超光滑多层膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202310904880.4 | 申请日： | 2023-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN116926487A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王瀚林;王孝东;龚博文;牛筱茜;刘茜;王洋;刘世界;陈波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及光学薄膜技术领域，尤其涉及一种基于Ti种子层的超光滑多层膜及其制备方法，基于Ti种子层的超光滑多层膜包括帽层，帽层用于避免超光滑多层膜被原子氧侵蚀，还包括基底和镀在基底上的反射膜，反射膜由钛膜和铝膜构成，钛膜和铝膜交替层叠镀在基底上，且钛膜和铝膜形成的层叠结构中的顶层和底层均为钛膜，帽层镀在顶层的钛膜表面，每层钛膜的镀制厚度为3～15nm，每层铝膜的镀制厚度为3～15nm，反射膜的总镀制厚度为150～700nm，帽层的镀制厚度为1～3nm。本发明通过使用钛膜作为种子层，从而对铝膜的结晶过程产生影响，降低超光滑多层膜的表面粗糙度，大幅提高超光滑多层膜在中心波长21.1nm处的反射率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 ti 种子 光滑 多层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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