[发明专利]一种高可靠性的CIS芯片封装结构及方法在审
申请号: | 202310908533.9 | 申请日: | 2023-07-24 |
公开(公告)号: | CN116936592A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 申九林;魏浩;马书英 | 申请(专利权)人: | 华天科技(昆山)电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种高可靠性的CIS芯片封装结构及方法,该结构包括:玻璃基板,其具有围堰结构;影像传感器晶圆,其具有第一表面和第二表面,第一表面设有焊盘和感光区,且第一表面通过键合胶键合在围堰结构上,所述感光区与围堰结构形成密闭空腔;第二表面向第一表面延伸开孔,开孔处露出所述焊盘;钝化层,设置于影像传感器晶圆的第二表面,且从外围包裹住围堰结构;金属线路层,设置于所述钝化层的表面,并通过所述开孔处与焊盘电连接;阻焊层,所述阻焊层对影像传感器晶圆进行封装;信号导出结构,所述信号导出结构设置于所述金属线路层上并露出阻焊层。本发明的钝化层对围堰结构进行包边,可以提高水汽阻隔性能,从而提高封装结构的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 可靠性 cis 芯片 封装 结构 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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