[发明专利]一种高可靠性的CIS芯片封装结构及方法在审

专利信息
申请号: 202310908533.9 申请日: 2023-07-24
公开(公告)号: CN116936592A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 申九林;魏浩;马书英 申请(专利权)人: 华天科技(昆山)电子有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 王丽
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种高可靠性的CIS芯片封装结构及方法,该结构包括:玻璃基板,其具有围堰结构;影像传感器晶圆,其具有第一表面和第二表面,第一表面设有焊盘和感光区,且第一表面通过键合胶键合在围堰结构上,所述感光区与围堰结构形成密闭空腔;第二表面向第一表面延伸开孔,开孔处露出所述焊盘;钝化层,设置于影像传感器晶圆的第二表面,且从外围包裹住围堰结构;金属线路层,设置于所述钝化层的表面,并通过所述开孔处与焊盘电连接;阻焊层,所述阻焊层对影像传感器晶圆进行封装;信号导出结构,所述信号导出结构设置于所述金属线路层上并露出阻焊层。本发明的钝化层对围堰结构进行包边,可以提高水汽阻隔性能,从而提高封装结构的可靠性。
搜索关键词: 一种 可靠性 cis 芯片 封装 结构 方法
【主权项】:
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