[发明专利]一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法在审

专利信息
申请号: 202310909015.9 申请日: 2023-07-24
公开(公告)号: CN116752227A 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 王玉龙;黄旭光;王建芳 申请(专利权)人: 晶澳太阳能有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;C30B33/00;B28D5/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 冯亚娥;杨倩
地址: 055550 *** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法。该热场调节结构应用于单晶炉内,其包括:控制装置及移动保温组件,其中,移动保温组件设置于单晶炉内的导流筒和保温筒之间的空间;控制装置与移动保温组件连接,用于在单晶炉内的坩埚与导流筒相对位置发生变化的情况下,驱动移动保温组件在导流筒和保温筒之间的空间内移动,以调整位于硅溶液液面上方的空间。该热场调节结构应用到单晶炉后,能够减少单晶炉内的热量损失,并使硅溶液的温度梯度得到比较好地调控,以保证大尺寸晶体能够正常生长。
搜索关键词: 一种 调节 结构 单晶炉 单晶硅 分割 方法
【主权项】:
暂无信息
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