[发明专利]一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法在审
申请号: | 202310909015.9 | 申请日: | 2023-07-24 |
公开(公告)号: | CN116752227A | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 王玉龙;黄旭光;王建芳 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20;C30B33/00;B28D5/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 冯亚娥;杨倩 |
地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开一种热场调节结构、单晶炉及单晶硅棒分割方法。该热场调节结构应用于单晶炉内,其包括:控制装置及移动保温组件,其中,移动保温组件设置于单晶炉内的导流筒和保温筒之间的空间;控制装置与移动保温组件连接,用于在单晶炉内的坩埚与导流筒相对位置发生变化的情况下,驱动移动保温组件在导流筒和保温筒之间的空间内移动,以调整位于硅溶液液面上方的空间。该热场调节结构应用到单晶炉后,能够减少单晶炉内的热量损失,并使硅溶液的温度梯度得到比较好地调控,以保证大尺寸晶体能够正常生长。 | ||
搜索关键词: | 一种 调节 结构 单晶炉 单晶硅 分割 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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