[发明专利]一种提升氢致变色薄膜氢响应性能的制备方法在审
| 申请号： | 202310913322.4 | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116926488A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王廷炎;陈娟;张祯;彭立明;郭昊铭;钟智邺;方浩澜 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种提升氢致变色镁基薄膜氢响应性能的制备方法，包括在采用磁控溅射制备镁基氢敏反应层过程中，调整磁控溅射工艺中的氩气流量为20sccm～100sccm的步骤。本发明利用磁控溅射过程中氩气流量的调控，可以影响溅射原子碰撞频率和平均自由程，从而改变薄膜生长条件，改变薄膜的显微结构，方便快捷地提高了氢致变色薄膜的吸脱氢速率。本方法工艺简单，可重复性强，性能提升显著，在氢气传感领域具有重要应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提升 变色 薄膜 响应 性能 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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