[发明专利]一种太阳能电池片生产用硅片清洗装置在审
申请号: | 202310914921.8 | 申请日: | 2023-07-25 |
公开(公告)号: | CN116936450A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 马传兵;王旭 | 申请(专利权)人: | 江苏华恒新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 南京安藤洋知识产权代理事务所(普通合伙) 32660 | 代理人: | 孙清晓 |
地址: | 221001 江苏省徐州市经济技术开发区高新路*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池片生产用硅片清洗装置,包括机箱,机箱内部自上而下包括密封连接的清洗室和驱动室,所述清洗室内设置有若干个载片辊,所述驱动室设置有能够同时带动所有的所述载片辊转动的驱动结构;其中,所述载片辊包括用于装载多个硅片的载片筒,所述载片筒下端固定连接有下连接板,载片筒上端螺纹连接有上连接板,所述下连接板下壁固定有下辊轴,上连接板上壁固定有上辊轴。本发明能够防止硅片之间相互碰撞而导致硅片碎裂、以及产生裂纹,使得硅片能够与清洗液充分接触与撞击,清洗效果好,清洗速度快,载片辊高速转动进行快捷脱水,缩短干燥时长,不仅大大降低了次品率,而且大大提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 生产 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造