[发明专利]白光光源中心波长的测量装置在审
申请号: | 202310919910.9 | 申请日: | 2023-05-06 |
公开(公告)号: | CN116929572A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 张和君;刘见桥;霍阔;陈世超 | 申请(专利权)人: | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人: | 邱爽 |
地址: | 518071 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开描述一种白光光源中心波长的测量装置,包括发生模块、干涉物镜、采样模块、以及数据处理模块;发生模块用于经干涉物镜向待测样品发出测量光束,测量光束经待测样品反射在干涉物镜中形成反射光束;采样模块采集反射光束以获得用于形成关于待测样品的多帧图像的光干涉信号;数据处理模块用于:构建光干涉信号的信号强度和多帧图像的采样帧数的关系曲线;并且得到多帧图像的图像帧序和在每帧图像处关系曲线的相位的拟合斜率,根据拟合斜率求出光源的中心波长。由此,能够在测量装置上直接测量白光光源的中心波长,能够提升测量的效率和便捷性。 | ||
搜索关键词: | 白光 光源 中心 波长 测量 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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