[发明专利]一种光伏硅片脱胶的周转机构有效
申请号: | 202310921426.X | 申请日: | 2023-07-26 |
公开(公告)号: | CN116646291B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 王海亮 | 申请(专利权)人: | 无锡市爱维丝科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18;B65B11/02;B65B61/06 |
代理公司: | 无锡华建知识产权代理事务所(普通合伙) 32767 | 代理人: | 张希哲 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及光伏硅片技术领域,尤其涉及一种光伏硅片脱胶的周转机构。现有技术,离子水中含有的氧气会与硅晶发生氧化反应,影响硅晶质量。本发明的技术实施方案为:一种光伏硅片脱胶的周转机构,包括有安装架和运输带等;安装架安装有运输带。本发明通过高温高压的氮气与经过反应盒中的硅晶表面的水珠和水渍发生反应,使氮气能够溶于水中,如此,氮气便能够与被水珠覆盖的硅晶表面接触,解决了常温常压下,氮气无法与水反应,便无法与被水珠覆盖的硅晶表面接触,硅晶表面存在水珠的部分便无法第一时间受到氮气的保护,且离子水中含有的氧气会与硅晶发生氧化反应,在硅晶表面形成氧化层,影响下一道工序的制程及电池片的最终效率的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 脱胶 周转 机构 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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