[发明专利]一种高纯液体硅烷储存系统在审
| 申请号： | 202310921781.7 | 申请日： | 2023-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN116928569A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 鲁建国;张华芹;张登科;李云生;赵昀;程佳彪 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C3/00 | 分类号： | F17C3/00;F17C3/04;F17C3/08;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/12;F17C13/00 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 唐海波 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高纯液体硅烷储存系统，涉及硅烷储存技术领域，包括储罐、BOG冷凝器、进料管、蒸发气进气管、降液管、安全阀，液体硅烷从进料管进入储罐内，当储罐内产生硅烷蒸发气时，硅烷蒸发气从蒸发气进气管进入BOG冷凝器被冷凝，随后从降液管回流至储罐内，当储罐内因产生的硅烷蒸发气超压时，安全阀打开，硅烷蒸发气被送至火炬管网焚烧。本发明提供的一种高纯液体硅烷储存系统，能够提高硅烷储量，节约装置占地，减少硅烷蒸发气的生成，更加安全可靠，结构简单紧凑，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 液体 硅烷 储存 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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