[发明专利]一种洁净室灯具的洁净度检测装置及方法在审
| 申请号： | 202310926551.X | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116952810A | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 朱国宁 | 申请（专利权）人： | 中国电子工程设计院有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/14 | 分类号： | G01N15/14 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 王娜 |
| 地址： | 100142 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及领域，公开一种洁净室灯具的洁净度检测装置及方法。该装置包括支撑夹持模块、检测模块、控制模块和智能移动搭载模块；支撑夹持模块用于灯具的固定；检测模块安装于智能移动搭载模块，检测模块包括采样头，采样头朝向支撑夹持模块固定的灯具，用于采集灯具的颗粒散发量；控制模块分别与检测模块和智能移动搭载模块信号连接；控制模块通过智能移动搭载模块控制采样头的采样路径，实现了洁净室用灯具洁净度的在线检测，检测方法更为规范，检测结果更具准确性与可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净室 灯具 洁净 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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