[发明专利]一种宽量程多参数真空测量装置及方法在审
| 申请号： | 202310927049.0 | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116929630A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李得天;范栋;习振华;贾文杰;李刚 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01L21/26 | 分类号： | G01L21/26 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730010 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种宽量程多参数真空测量装置及方法，所述装置包括可调谐二极管激光器、电光调制器、Fabry‑Perot腔、PDH锁频单元、光频梳光源、拍频单元、气体吸收池以及压力反演计算单元，其中：光频梳光源包括第一光频梳光源和第二光频梳光源；可调谐二极管激光器的出射光进入Fabry‑Perot腔透射；PDH锁频单元对探测激光进行锁频；第一光频梳光源发射参考光梳；第二光频梳光源发射探测光梳，一部分探测光梳通过气体吸收池发生干涉，另一部分直接发生干涉；压力反演计算单元反演得到气体吸收池内的气体压力。本申请实现了非极性气体的全压力测量和极性气体的全/分压力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量程 参数 真空 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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