[发明专利]一种面向阵列化数字光刻机的光机电控制系统在审
| 申请号： | 202310929492.1 | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116931387A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 章军辉;王静贤;郭晓满;陈明亮;彭良强;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚莹丽 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请公开了一种面向阵列化数字光刻机的光机电控制系统，涉及光刻机技术领域，包括：主控FPGA与多个从控FPGA；所述主控FPGA，用于与工作站以及各所述从控FPGA通讯，将所述工作站发送的曝光指令数据报文转发给所述从控FPGA，以及控制所述从控FPGA执行并行曝光任务；所述从控FPGA，用于根据曝光指令数据执行并行曝光任务；其中，每个所述从控FPGA独立控制c×c×m路激光，且c×c×m×p≥N×N；c×c表示一个逻辑阵列，m为层数，p为所述从控FPGA的个数，N×N表示光纤面阵的大小。应用该光机电控制系统能够有效提升无掩膜光刻机的光刻效率。本申请还公开了一种阵列化数字光刻机，同样具有上述技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 阵列 数字 光刻 机电 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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