[发明专利]阻抗匹配方法、装置和介质在审
| 申请号： | 202310929943.1 | 申请日： | 2023-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN116936328A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 朱培文;尹巧星 | 申请（专利权）人： | 江苏神州半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 225008 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种阻抗匹配方法、装置和介质，该方法包括：前端数字化射频检测单元通过脉冲包络信号采样，检测射频电源的实时电压值、实时电流值及电压与电流的相位差；逻辑控制单元实时计算第一反射系数；当第一反射系数超出阈值时，调整电容极板的初始位置；当第一反射系数未超出阈值时或重复执行上述步骤预设次数时，逻辑控制单元计算当前射频电源的电信号参数，并根据反射校准参数获取电信号参数的误差值；逻辑控制单元根据误差值计算马达的转速，计算第二反射系数；逻辑控制单元确认第二反射系数小于阈值时，阻抗匹配完成。该方法用于在采样的信号为脉冲包络信号时快速进行射频电源与等离子体反应腔的阻抗匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 方法 装置 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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