[发明专利]一种用于测量深紫外光致发光谱的显微光路耦合系统和方法在审

专利信息
申请号: 202310931355.1 申请日: 2023-07-27
公开(公告)号: CN116879171A 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: 付雷;沈波;罗向东;唐宁 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/64
代理公司: 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 代理人: 李稚婷
地址: 100871*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种用于测量深紫外光致发光谱的显微光路耦合系统和方法,包括:由两个或更多个紫外透镜组成的光束缩束模组,设置在激光光路上,用于将深紫外激光光束变细;一个深紫外窄条状45°反射镜,位于显微光路旁侧,利用其边缘将激光反射进入显微光路;一个反射式物镜,将窄条状45°反射镜反射过来的激光汇聚到样品上,并收集样品的荧光信号,送入收集光路进行探测。本发明可用于深紫外光致发光光谱的显微光路耦合,实现短至200nm的深紫外光致发光谱的显微测量,并最大限度地降低样品荧光信号的损失,比起非显微的深紫外光致发光测量系统,有着激发功率密度更高、荧光信号收集效率更高、空间分辨能力更高的优点。
搜索关键词: 一种 用于 测量 深紫 光致发光 显微 耦合 系统 方法
【主权项】:
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