[发明专利]一种外延反应室的导流装置及外延设备在审
| 申请号： | 202310932768.1 | 申请日： | 2023-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN116876080A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张南;仇礼钦;彭定强;戴科峰;刘自然;罗骞;伍三忠 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/08;C30B29/36;C30B25/16;C23C16/455 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 许家裕 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及外延生长技术领域，具体而言，涉及一种外延反应室的导流装置及外延设备，其中外延反应室的导流装置包括导流组件；导流组件设置在外延反应室内部，位于衬底托盘正上方且与供气口连接；导流组件包括与供气口连接且朝向衬底托盘设置的导流管和位于导流管中部的导流件；导流件包括低于导流管末端的扩散板。本申请的外延反应室的导流装置能解决在衬底上进行外延生长时竖直方向通气产生的气体逆向流动情况导致的外延生长不均匀的问题，达到在各个衬底上进行均匀生长的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 反应 导流 装置 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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